Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodání magnetronového naprašovacího zařízení
- 1. Zařízení musí být jednokomorové, všechny části musí být vyrobeny z korozivzdorných ocelí, vyhovující vakuové hygieně.
- 2. Zařízení musí obsahovat minimálně 4 nevyvážené magnetrony s permanentními magnety, magnetrony musí být přímo chlazené a musí obsahovat anodu
- 3. Evakuační agregát musí být složený ze suchých vývěv a to jak pro primární vývěvu, tak i pro vysoko vakuovou vývěvu
- 4. Měření vakua musí zajišťovat měrky v celém rozsahu mezního vakua celého zařízení
- 5. V režimu čerpání vysokého vakua musí být možnost regulace čerpací rychlosti
Lokalita:
- okres Liberec
Termín pro podání nabídek:
- 8.04.2021 v 10:00 hodin