Podrobný popis:
- předmětem veřejné zakázky je dodání samostatně stojícího HMDS systému
- Jedná se o zařízení obsahující topnou desku
- Díky tomu je za zvýšené teploty nadeponována tenká vrstva hexamethyldisilazanu, jakožto adhezního promotoru, pro následné zvýšení adheze spincoatovaných polymerních rezistů ke křemíkovým a skleněným substrátům
- S využitím tohoto procesu je tedy eliminována chybovost výroby veškerých následných litografických procesů způsobená delaminací rezistu
- Navíc díky systému s deskou vhodnou pro 8” podložní substráty, které jsou v dnešní době běžně průmyslovým standardem, je možné vyrábět větší množství čipů najednou, což snižuje časovou náročnost i finanční náklady na ostatní procesy
Lokalita:
- Jihomoravský kraj
Termín pro podání nabídek:
- 02. 12. 2024 v 10:00 hodin
- Více informací naleznete v příloze